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Última atualização do sistema: 30.08.2022
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Palavra-chave:
Silicon-On-Insulator (SOI)
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Mariana Amorim Fraga
Palavras-chave relacionadas
Palavra-chave relacionada é aquela que foi utilizada juntamente com "Silicon-On-Insulator (SOI)"
Carbeto de Silício (SiC)
MEMS
Silicon Carbide
Silicon-On-Insulator (SOI)
Strain Gauges
anisotropic etching
cantilevers
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